SuperViewW1白光干涉儀粗糙度儀用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量,。可對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度,、粗糙度、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。

除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外,，SuperViewW1白光干涉儀粗糙度儀具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓,，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。針對(duì)芯片封裝測(cè)試流程的測(cè)量需求,，X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm,，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測(cè)、鐳射槽深寬尺寸,、鍍膜臺(tái)階高等微納米級(jí)別精度的測(cè)量,。而Pro 型號(hào)增大了測(cè)量范圍，可覆蓋8英寸及以下晶圓,，定制版真空吸附盤(pán),，穩(wěn)定固定Wafer；氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計(jì),，隔離地面震動(dòng)與噪聲干擾,。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能,；

2）測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦,、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,；

3）測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量,、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能；

4）分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

日常維護(hù)

1,、儀器應(yīng)妥善地放在干燥,、清潔的房間內(nèi)，防止振動(dòng),，儀器搬動(dòng)時(shí),，應(yīng)托住底座，以防導(dǎo)軌變形,。

2,、光學(xué)零件不用時(shí)，應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi),，以防止發(fā)霉,。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭,，必要擦拭時(shí),，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和y醚混合液輕拭,。

3,、傳動(dòng)部件應(yīng)有良好的潤(rùn)滑。特別是導(dǎo)軌,、絲桿,、螺母與軸孔部分，應(yīng)用T5精密儀表油潤(rùn)滑,。

4,、使用時(shí)，各調(diào)整部位用力要適當(dāng),，不要強(qiáng)旋,、硬扳。

5,、導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷,、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態(tài),。

6,、經(jīng)過(guò)精密調(diào)整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆,，不要擅自轉(zhuǎn)動(dòng),。